W
Willt
Guest
Hej vänner
I gamla tider användes metall som porten till MOS.
Men nu är polysilicon används.
Metal har lägre resistivitet än polysilicon.
Vad är anledningen till att använda polysilicon nu?
Jag tänker på ett par skäl:
1.Polysilicon är lättare att hålla sig till kiseloxid.
2.Polysilicon kan uppnå egen alliansfrihet men metallen kan inte.
(Metal kommer att smälta när S / D dopant är dopade [HÖGTEMPERATURPROVNING!]
under egen anpassning.)
Disadv.använda polysilicon till grinden:
1.Högre resistivitet
2.Högre cap.
Jag hörde att metallen kommer att användas som grinden
inom en nära framtid under 45nm-process.Är detta sant?
Du får gärna diskutera tillsammans.
Din vän
Testamente
I gamla tider användes metall som porten till MOS.
Men nu är polysilicon används.
Metal har lägre resistivitet än polysilicon.
Vad är anledningen till att använda polysilicon nu?
Jag tänker på ett par skäl:
1.Polysilicon är lättare att hålla sig till kiseloxid.
2.Polysilicon kan uppnå egen alliansfrihet men metallen kan inte.
(Metal kommer att smälta när S / D dopant är dopade [HÖGTEMPERATURPROVNING!]
under egen anpassning.)
Disadv.använda polysilicon till grinden:
1.Högre resistivitet
2.Högre cap.
Jag hörde att metallen kommer att användas som grinden
inom en nära framtid under 45nm-process.Är detta sant?
Du får gärna diskutera tillsammans.
Din vän
Testamente