[IC design] Design Rule fråga

[mm6349]

Hej alla,

Jag har frågan om hjälp eller kontakta storlek i layout design.Normalt kommer gjuteriet ange den exakta storleken för båda delarna.Vad skulle hända om vi utforma via eller kontakta större än det specificerade "exakta storlek" Interm av tillförlitligheten i den påhittade chip, genom att ignorera båda frågorna Design Rule?
Jag skulle försöka tillverkning mina marker tidigare designat med 1,2 micron process och nu kommer vi att använda 0.8um processen utan design minskning.

 

[visualart]

Det är difficultt hatt du håller alla datum.
Eftersom processen är olika, den parameter som bredden på oxied lagret är diiferent.

 

[ddtiantian]

Det finns en diskussion om exakt via storlek på
http://www.edaboard.com/viewtopic.php?t=117725